На лінії довжиною 300 мм запланувувач не зупиняє роботу лише через незначні відхилення у параметрах процесу випалювання. Навіть незначне відхилення на півградуса може призвести до значних змін у розмірах ліній, що, у свою чергу, призводить до втрати продукції. Печі з конвекційним опаленням створюють проблеми щодо простору в чистих приміщеннях та часу виконання процедур. А гарячі платформи спричиняють неоднорідність температури по всій поверхні пластини, що змушує йти на компроміс між якістю та швидкістю виробництва, що є неприйнятним.
Що насправді має значення Ми створили лінійний інфрачервоний випромінювач, керуючись однією основною вимогою – однорідністю температури по всій поверхні пластини, а не лише її середнього значення. Короткохвильове інфрачервоне випромінювання проходить через стабілізоване кварцове скло, налаштоване так, щоб спектральний випромінювання було опрацьоване переважно фотогрунтом. Це допомагає уникнути перегріву пластини.
Результатом є однорідність температури по всій активній зоні випалювання на рівні ±0,1°C, при цьому час нарощування температури становить кілька мілісекунд. Випромінювач може працювати в чистих приміщеннях класу 1–100, оскільки його конструкція є герметичною – створення частинок практично відсутнє, а вивільнення газів контролюється, що забезпечує захист фотогрунту.
Чому це ефективно в промисловому виробництві У реальних умовах випромінювач працює 24/7 без жодних перерв. Параметри процесу випалювання залишаються стабільними, що дозволяє уникати необхідності повторної налаштування обладнання. Висока однорідність температури зменшує відхилення параметрів пластини, покращує якість продукції та зменшує кількість необхідних корекцій.
Енергоспоживання зменшується, оскільки нагрівається лише потрібна зона, а не вся камера. Термін служби випромінювача перевищує 5 000 годин, при цьому зниження потужності становить менше 5%. Це дозволяє зменшити кількість запасних частин, скоротити витрати на технічне обслуговування та уникнути ризиків під час зміни обладнання.
Деталі, які потрібно враховувати під час планування Випромінювач вимагає точної оптичної налаштування та спеціального джерела живлення для забезпечення стабільності спектру випромінювання. Якщо налаштування не буде правильним, на поверхні пластини можуть з’явитися нерівномірності температури.
Також необхідно забезпечити чисте та сухе середовище для запобігання запотіванню кварцового скла при низьких температурах. Потрібно також правильно налаштувати інтеграцію випромінювача з контролером процесу літографії та модулем випалювання, а також переконатися у правильності параметрів поглинання фотогрунтом для точного регулювання потужності випромінювання.