Подумайте про те, як працює звичайна конвекційна піч. Вона нагріває повітря, а потім це повітря нагріває деталі, які знаходяться всередині печі. У чистій кімнаті для обробки напівпровідників це просто марна трата енергії. Ви витрачаєте гроші на нагрівання стінок печі та повітря навколо неї, що є дуже некорисно. Найгірше те, що зовнішня частина обладнання стає надзвичайно гарячою. Ніхто не хоче, щоб оператори отримали опіки через те, що корпус обладнання перетворюється на радіатор.
Саме тому ми перейшли на використання направленого інфрачервоного опалення. Секрет полягає у тому, що лампи ІЧ-опромінення використовують електромагнітне випромінювання для передачі енергії безпосередньо до деталей, які потрібно нагріти. Це дозволяє уникнути нагрівання всередини печі. Таким чином, внутрішні стінки залишаються прохолодними. Деталі нагріваються значно швидше, а техніки не повинні уникати гарячих поверхонь.
Однак не можна просто помістити будь-яку лампу в піч. Ми використовуємо кварцові лампи з короткою хвилею, оскільки вони здатні створити велику кількість тепла в невеликому просторі. Але є один недолік: лампи з високою потужністю можуть пошкодити матеріал, якщо їх розмістити без урахування фокусу та захисту. Все зводиться до балансу – необхідно правильно підібрати потужність та відстань, щоб не пошкодити матеріал.
Щоб це працювало в чистій кімнаті, потрібно докласти певних зусиль. Ми використовуємо контролери типу PID для того, щоб температура не перевищувала допустимих значень та не пошкоджувала деталі.
А оскільки тепло є направленим, ми можемо розміщувати лампи ближче до об’єкта нагрівання. Корпус печі не поглинає тепло, що остаточно вирішує проблему „гарячих стінок“. Ваша команда може працювати прямо поруч з обладнанням без жодних проблем, а система опалення не буде змушена боротися з величезним джерелом тепла посеред кімнати. Все просто працює.