Üretim tesislerinizdeki ısıyı boşa harcamayı bırakın.
Çoğu ısıtma elemanı, tıpkı ampuller gibi enerjiyi her yöne yaymaktadır. Yarı iletken üretim tesislerinde bu durum bir sorundur. Bir wafer’ı ısıtmaya çalışırken aslında cihazın iç kısımlarını ısıtıyorsanız, bu sadece enerjinin boşa harcanması anlamına gelir. Daha da kötüsü, cihazınız devasa bir radyatöre dönüşür ve operatörlerin yaralanmasına neden olabilir.
Bunu çözmek için yönlü kızılötesi (IR) teknolojisinden yararlanıyoruz.
Nasıl çalışır?
Standart lambalar enerjiyi her yöne saçar. Biz ise yansıtıcılar ve seçici vericiler kullanarak bu IR enerjisini doğrudan substratın üzerine yönlendiriyoruz. Böylece cihazın dış kısmı soğuk kalır; iç kısım ne kadar sıcak olursa olsun…
Isı profilini doğru ayarlama
Yüksek güçlü bir lambayı cihaza takıp en iyisini ummak yeterli değildir. Eğer lambanın verimi, malzemenin gerçekten emebileceği enerjiyle eşleşmezse, enerji waferden geri seker ve cihazın duvarlarına çarpar. Bu yüzden lambaları belirli dalga boylarında seçiyoruz. Böylece waferin enerjiyi etkili şekilde emdiğinden emin oluyoruz. Ayrıca, HVAC sisteminiz de bundan fayda görecektir; artık kendi cihazlarınızdaki ısı sızıntılarıyla mücadele etmek zorunda kalmazsınız.
Eksiklikler ve bunların nasıl çözülmesi
Yönlü ısıtma bir sihir değildir. Bir ışın hüzmesini yoğunlaştırdığınızda, belirli bir noktada çok yüksek ısı yoğunluğu oluşur. Eğer konumlandırmanız birkaç milimetre bile yanlışsa, waferinizde sıcak noktalar oluşur. Bu yüzden lambaların yerleştirilmesi son derece hassas olmalıdır. Eğer kesin konumunuzu bilmiyorsanız, bir termal kamera kullanarak duvarların sıcaklığını kontrol edin. Eğer cihazın yüzey sıcaklığı 45°C veya daha yüksekse, enerji sızıntısı vardır. Yönlü IR teknolojisini kullanarak işlem sıcaklıklarını tam olarak istenen seviyede tutabilirsiniz; böylece kimse yanma riskiyle karşı karşıya kalmaz.