Fabrika katında, fotoresist pişirme bir ısınma süreci değildir. Bu, hat genişliği kontrolü için bir kapı bekçisidir. Wafer üzerinde 2°C’lik bir kayma belirdiğinde, kritik boyutlarınız değişir. Orta dalga kuvars ısıtıcı tüpleri, bu kaymanın başlamadan önce durdurulması için tasarlanmıştır.
Teknik olarak önemli olan
Orta dalga kuvars, fotoresist ve polimer filmlere temiz bir şekilde bağlanan bir bantta yayılım yapar, bu nedenle filmi ısıtıyorsunuz - odanın duvarlarını değil. Sonuç, üzerinde güvenilir bir tekrar edilebilirlik ile milimetrenin altındaki termal homojenliktir. Üretimde, bu, pişirme yüzeyinde wafer genelinde ±0.1°C’ye karşılık gelir ve ayar noktaları her parti için sabit kalır. Tüp geometrisi ve emisyon katsayısı, hızlı, kontrollü bir ısınma ve tekrar edilebilir bir bekletme için ayarlanmıştır, böylece yumuşak pişirme ve sert pişirme profilleriniz vardiyalar arasında kayma yapmaz.
Neden litografi uygulamalarında bu şekilde dayanıklıdır
Fotoresist işleme tamamen termal bütçe disiplinine dayanır. Bu tüpler, yüksek termal yük altında sıcaklık tutar ve sıcak noktalar oluşturmaz, ayrıca parçacık üretimini neredeyse sıfıra indirir - Sınıf 1-100 temiz odada yaşanması kolaydır. Daha hızlı çevrim süreleri elde edersiniz, daha düşük enerji tüketimi ile, pişirme homojenliğinden kaynaklanan daha az yeniden işleme ve dalgalanmayan verim alırsınız. Yirmi dört saat güvenilirliği bir slogan değildir; bu, malzeme seçimleri ve termal tasarıma entegre edilmiştir, bu da daha az beklenmeyen duraklama anlamına gelir.
Akılda tutmanız gereken pratik detaylar
Orta dalga, organik filmler ve fotoresist için ayarlanmıştır. Bu bant dışında güçlü bir şekilde emen alt tabakalar için uygun değildir. Tüp, odanın geometrisi ile eşleştiğinde ve işlem pencereniz emisyon spektrumu ile hizalandığında en hızlı, en temiz pişirmeyi elde edersiniz. Kurulum önemlidir. Boşluklara ve emisyon yüzeylerine saygı gösterin - küçük bir hizalama hatası, homojenliği birkaç ondalık derece kaydırabilir. Ve wafer boyutları arasında ±0.1°C temelini korumak için periyodik kalibrasyonu planlayın.