Yarı iletken ekipmanlarınızın serin kalmasını sağlamak (iç kısmın ısınması durumunda bile)
Yarı iletken ekipmanlarda sık karşılaşılan bir sorun şudur: İç kısmın ısınması gerekiyor, ancak dış kısmın aşırı derecede sıcak olmaması gerekiyor.
Konveksiyon veya genel ısıtma yöntemlerini kullandığınızda, ısı dışarıya sızar ve makineyi kullanana zarar verebilecek düzeyde sıcaklık oluşur. Üstelik, ısınmasına gerek olmayan metal parçaları ısıtmak için çok fazla enerji harcanmış olur.
Çözüm, yönlendirilmiş ısı kullanmaktır.
Bunu çözmek için kısa dalga boyundaki kızılötesi lambalar kullanılır. Bunu bir ısıtıcı yerine el feneri gibi düşünebilirsiniz. Kızılötesi radyasyon düz bir hat üzerinde ilerlediğinden, yalnızca temas ettiği yeri ısıtır. Lambaların açısını ayarlayarak ve yansıtıcılar kullanarak ısıyı tam olarak wafer veya bileşenlere yönlendirebiliriz. Makinenin geri kalan kısmı ise bu ısıdan etkilenmez.
Ancak sadece bir lamba yerleştirip işi bitirmek yeterli değildir. Dalga boyu ve odak noktasının doğru ayarlanması gerekiyor. Kısa dalga boyundaki kızılötesi lambaları tercih ediyoruz; çünkü hava içinde daha iyi ilerler ve daha derinlere nüfuz eder. Amacımız, sıkı ve yoğun bir ısı alanı oluşturmaktır.
Eğer yansıtıcılar doğru şekilde yerleştirilmemişse veya lamba alan için fazla büyükse, yine de “ısı sızıntısı” olur. Bu oldukça rahatsız edicidir. Bu yüzden lambaların nereye yerleştirileceğine karar vermeden önce odanın termal yapısını mutlaka analiz etmemiz gerekir.
Elde edilen faydalar buna değerdir.
Öncelikle, operatörlerin elleri aşırı sıcak metal yüzeylerine değmez. Ayrıca, temiz oda sistemi de bundan memnun olacaktır. Boşa enerji harcamamış olursunuz ve böylece tüm ortam daha stabil kalır.
Tabii ki bazı dezavantajlar da var. Kızılötesi lambalar sonsuza kadar dayanmaz; normal dirençli ısıtıcılardan daha hızlı bozulurlar. Bu yüzden lambaların arızalanmadan önce değiştirilmesi için düzenli bir bakım programı gerekir. Ayrıca kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar çok güçlü olduğundan uygun koruma önlemleri alınmalıdır. Bakım sırasında kimseye lambalara doğrudan bakmasına izin verilmemelidir.