ในโรงงาน
การอบฟิล์มฟอตโต้เรซิสต์ไม่ใช่การเตรียมพร้อม มันเป็นผู้ควบคุมสำหรับการควบคุมความกว้างของเส้น การเปลี่ยนแปลง 2°C ที่ปรากฏบนเวเฟอร์จะทำให้ขนาดที่สำคัญของคุณเปลี่ยนไป ท่อฮีตเตอร์ควอตซ์คลื่นกลางถูกออกแบบมาเพื่อหยุดการเปลี่ยนแปลงนั้นก่อนที่มันจะเริ่มต้น
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
ควอตซ์คลื่นกลางปล่อยพลังงานในช่วงที่เข้ากันได้กับฟิล์มฟอตโต้เรซิสต์และโพลีเมอร์ ดังนั้นคุณจึงกำลังทำให้ฟิล์มร้อนขึ้น—ไม่ใช่ผนังของห้องอบ ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอทางความร้อนที่น้อยกว่า 1 มิลลิเมตรพร้อมความสามารถในการทำซ้ำที่คุณสามารถเชื่อถือได้ ในการผลิต นั่นแปลว่า ±0.1°C ทั่วทั้งเวเฟอร์ที่พื้นผิวการอบ และจุดตั้งค่าที่คงที่ไม่เปลี่ยนแปลงจากล็อตหนึ่งไปยังอีกล็อตหนึ่ง
รูปทรงของท่อและการปล่อยพลังงานได้รับการปรับแต่งเพื่อให้มีการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วและสามารถทำซ้ำได้ ดังนั้นโปรไฟล์การอบอ่อนและการอบแข็งของคุณจะไม่เปลี่ยนแปลงระหว่างกะ
ทำไมมันจึงมีประสิทธิภาพในลิทโธกราฟี
การประมวลผลฟิล์มฟอตโต้เรซิสต์เกี่ยวกับวินัยทางงบประมาณความร้อน ท่อเหล่านี้รักษาอุณหภูมิภายใต้ภาระความร้อนสูงโดยไม่เกิดจุดร้อน และพวกเขารักษาการสร้างอนุภาคให้อยู่ใกล้ศูนย์—ง่ายต่อการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100
คุณจะได้รอบเวลาที่เร็วขึ้นพร้อมการใช้พลังงานที่ต่ำลง โดยมีการทำซ้ำที่น้อยลงจากความไม่สม่ำเสมอในการอบ และผลผลิตที่ไม่ผันผวน ความเชื่อถือได้ตลอด 24 ชั่วโมงไม่ใช่คำขวัญ; มันฝังอยู่ในทางเลือกของวัสดุและการออกแบบความร้อน ซึ่งหมายความว่ามีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดน้อยลง
รายละเอียดปฏิบัติที่คุณควรจำไว้
ควอตซ์คลื่นกลางถูกปรับให้เหมาะกับฟิล์มอินทรีย์และฟิล์มฟอตโต้เรซิสต์ มันไม่เหมาะสำหรับซับสเตรตที่ดูดซับอย่างมากนอกช่วงนั้น
คุณจะได้การอบที่เร็วที่สุดและสะอาดที่สุดเมื่อท่อเข้ากันได้กับรูปทรงของห้องอบและหน้าต่างกระบวนการของคุณตรงกับสเปกตรัมการปล่อยพลังงาน
การติดตั้งมีความสำคัญ เคารพการเว้นระยะห่างและการเชื่อมต่อการปล่อยพลังงาน—การจัดแนวที่ผิดเล็กน้อยสามารถทำให้ความสม่ำเสมอเปลี่ยนไปได้ไม่กี่ส่วนขององศา และวางแผนสำหรับการสอบเทียบเป็นระยะเพื่อรักษาเส้นฐาน ±0.1°C ทั่วทั้งขนาดเวเฟอร์