Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Se você está aquecendo bolachas de silício em um ambiente de classe 100, certamente conhece o problema causado pela liberação de gases. Um único grão de material ou uma pequena quantidade de VOCs pode estragar todo o lote produzido. É frustrante.
Por isso, paramos de usar elementos de aquecimento convencionais. Em vez disso, utilizamos lâmpadas de IR feitas de quartzo sintético de alta pureza.
Por que quartzo?
Os aquecedores revestidos de metal tendem a oxidar ou se desgastar com o tempo. Isso é um desastre em uma sala limpa. Nosso quartzo fundido é tão puro que impede que íons metálicos se movam. Além disso, trata-se de um processo sem contato físico: a radiação IR atinge diretamente a superfície da bolacha. Não há necessidade de tocar ou esfregar nada, e não há risco de abrasão física. É simplesmente energia pura e direta.
A abordagem “Zero Poluição”
Removemos tudo o que poderia causar problemas: sem adesivos, sem polímeros baratos – nada que possa liberar gases ou partículas. Cada selo utilizado é quimicamente inerte.
Também dedicamos muito tempo ao controle da expansão térmica desses dispositivos. Eles não racham quando são usados em altas temperaturas.
Uma observação importante: quando esses dispositivos são operados na potência máxima, eles ficam muito quentes. Certifique-se de que seu sistema de vácuo ou fluxo de ar consiga lidar com esse calor, caso contrário, seu equipamento pode superaquecer.
Integração no seu fluxo de trabalho
mantivemos o tamanho desses dispositivos pequeno, para que possam ser inseridos facilmente nas câmaras de processamento existentes. Eles foram projetados para substituir os dispositivos antigos, assim você não precisa ficar horas esperando que a linha de produção volte a funcionar.
Como utilizamos materiais de alta pureza, você não verá aquela “nuvem” que geralmente aparece nos dispositivos mais baratos. A transmissão de IR permanece forte ao longo do tempo.
Desde que sua fonte de alimentação seja estável e silenciosa, você terá um perfil térmico perfeitamente uniforme em toda a superfície da bolacha. Tão simples quanto isso.