Na linii produkcyjnej problem drgań termicznych podczas obróbki fotorezystu nie jest kwestią teoretyczną. Objawia się on w postaci zmian szerokości linii na płytkach krzemowych, problemów z przyczepnością materiału oraz spadku wydajności produkcji, który pogłębia się z każdą kolejną sesją obróbki. Potrzebny jest źródło ciepła, które będzie współpracować z procesem, a nie go hamować. Nasze lampy RTP zapewniają dokładnie to.
Używamy emiterów promieniowania podczerwonego o krótkiej i średniej długości fali, wykonanych w konstrukcji kwarcowo-halogenu, aby zapewnić szybką i efektywną transfer energii. Dzięki temu uzyskujemy jednorodną temperaturę na całej powierzchni płytki krzemowej w zakresie ±0,1°C, a także powtarzalny profil temperatury, który nie narusza zasad termicznego bilansu. Proces suszenia płytek staje się bardziej precyzyjny – usunięcie rozpuszczalników jest kontrolowane, naprężenia w warstwie materiału pozostają stałe, a kontrola wymiarów jest skuteczna. System funkcjonuje w pomieszczeniach klasy 1–100, gdzie nie dochodzi do tworzenia się cząstek, a jego działanie jest monitorowane w czasie rzeczywistym, dzięki użyciu materiałów o niskim stopniu uwalniania gazów.
Oto dlaczego ten system sprawdza się w praktyce:
Podczas suszenia płytek krzemowych szybkie nagrzewanie bez kontaktu z powierzchnią pozwala usunąć wilgoć, bez uszkadzania jej struktury. W procesie litografii lampy te zapewniają precyzyjną kontrolę temperatury, co sprzyja usunięciu defektów na krawędziach płytek. Podczas utwardzania warstwy materiału lampy te zapewniają stałą wydajność, co oznacza większą liczbę obrabianych płytek na godzinę bez straty jakości.
Koszt energii spada, ponieważ energia trafia bezpośrednio na warstwę materiału i płytkę krzemową, a nie jest zużywana na ogrzewanie pomieszczenia. Niezawodność tego systemu potwierdza fakt, że może pracować przez 5000 godzin lub więcej, z stratą wydajności poniżej 5%, co minimalizuje przestoje w produkcji.
Kilka praktycznych uwag:
Podczas instalacji należy dopasować rozmiar lampy i jej konektor do specyfikacji urządzenia RTP, a także sprawdzić prawidłowe ustawienie ścieżki optycznej. Jeśli te parametry nie są poprawne, jednorodność temperatury jest zaburzona. Lampy te działają najlepiej w czystym, suchym środowisku gazowym, a także przy regularnej inspekcji emiterów.
Choć system jest wytrzymały, nie toleruje nagłych zmian napięcia – chroniąc zasilanie, chronimy również ciągłość pracy systemu.