Na linii produkcyjnej profile nagrzewania materiałów fotorezystowych nie są kwestią wyboru – to właśnie one decydują o tym, czy produkt będzie użyteczny, czy też zostanie porzucony. Nawet niewielka odchylenie temperatury o 2°C podczas procesu nagrzewania może doprowadzić do problemów, takich jak powstawanie osadów na powierzchni płytek krzemowych, co może skutkować całkowitą utratą partii produktów. Stworzyliśmy lampy infrakroczowe do obróbki grafenu, aby eliminować tę niepewność.
Co jest naprawdę istotne z technicznego punktu widzenia Te lampy emitują światło w zakresie bliskiego podczerwieni, co umożliwia szybką i kontrolowaną regulację temperatury. Dzięki temu uzyskuje się jednolitą temperaturę na całej powierzchni płytki krzemowej w przedziale ±0,1°C. Emiter grafitowy utrzymuje stałą moc promieniowania przez tysiące godzin – urządzenia te mogą pracować nawet 5 000 godzin bez spadku mocy większego niż 5%.
Lampy te są dostosowane do warunków panujących w czystych pomieszczeniach klasy 1–100. Nie wytwarzają żadnych cząstek i zapewniają stabilną regulację temperatury. Moc, napięcie i wymiary lamp można dostosować tak, aby pasowały do istniejących urządzeń, dzięki czemu integracja jest prosta i nie wymaga całkowitego przeprojektowania.
Dlaczego to działa w litografii W litografii potrzebny jest proces delikatnego nagrzewania, który pozwoli usunąć rozpuszczalnik bez wywoływania efektu topnienia materiału, a także proces intensywnego nagrzewania, który pozwoli na utwardzenie materiału bez powstania powłoki na jego powierzchni. Nasze lampy szybko osiągają pożądaną temperaturę, utrzymują ją na tym poziomie i odprowadzają ciepło w przewidywalny sposób. Dzięki temu każda płyta krzemowa ma identyczne warunki termiczne.
To przekłada się na lepszą dokładność przy nakładaniu warstw, mniej konieczności ponownej obróbki oraz możliwość planowania czasu realizacji procesu. Zużycie energii zmniejsza się, ponieważ system nagrzewa się tylko wtedy, gdy jest to konieczne, a temperatura jest utrzymywana z minimalnymi odchyleniami. Długotrwała żywotność emitera sprawia, że nie jest konieczna duża ilość części zamiennej ani długie przerwy na konserwację.
Co należy wiedzieć z góry Te lampy są zaprojektowane zgodnie z międzynarodowymi standardami sprzętu do produkcji półprzewodników. Są to sprawdzone alternatywy dla tradycyjnych źródeł światła halogenowego/kwarcowego. Podczas instalacji należy uwzględnić geometrię reflektora oraz odległość drogi optycznej. Jeśli zamienimy lampy bez sprawdzenia odległości ogniskowej, to zmieni się lokalizacja obszaru o wysokiej temperaturze.
Należy planować modernizację z uwzględnieniem geometrii komory, przepływu chłodziwa oraz mechanizmów bezpieczeństwa. Dzięki temu unikniemy nadmiernego powstawania cząstek i zwiększymy czas pracy urządzeń.