Mengapa kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah tanpa ozon lebih sesuai untuk proses pembuatan semikonduktor
Jika anda bekerja di kilang pembuatan semikonduktor, anda pasti sudah mengenali situasi ini. Peraturan berkaitan penggunaan bahan yang bebas plumbum dan mesra alam bukan sekadar cadangan – ia merupakan peraturan yang wajib dipatuhi.
Namun, masalahnya ialah banyak kaedah pemanasan lama, seperti lampu inframerah biasa, akan menghasilkan ozon. Ini kerana lampu tersebut memancarkan radiasi dalam julat 185nm hingga 254nm, yang seterusnya menukar oksigen dalam udara menjadi gas yang bersifat korosif.
Ozon akan merosakkan komponen-komponen sensitif dalam peralatan anda. Anda juga perlu mengeluarkan kos yang besar untuk membeli sistem penapis udara yang efektif agar udara tetap sesuai untuk bernafas dan peralatan tetap berfungsi dengan baik.
Bagaimana kita menghilangkan ozon tanpa kehilangan haba
Kami telah mencari cara untuk menghentikan masalah ini tanpa mengorbankan kekuatan haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Kami meletakkan lapisan penapis khas pada kulit luar lampu tersebut. Ia berfungsi seperti kacamata hitam berteknologi tinggi untuk lampu tersebut. Lapisan penapis ini dapat menyerap sinaran VUV yang menyebabkan pembentukan ozon, sambil membiarkan gelombang cahaya yang diperlukan untuk proses pengeringan melalui dengan lancar.
Anda masih akan mendapat haba yang intensif, tetapi tanpa masalah kimia yang timbul akibat ozon. Dengan cara ini, anda tidak perlu menggunakan sistem penapis ozon yang besar. Ruang yang diperlukan untuk peralatan pun berkurangan. Memang suatu penyelesaian yang bagus.
Haba yang cepat, tekanan yang rendah
Kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah memungkinkan pemindahan haba secara langsung. Daripada memanaskan seluruh ruang oven dan menunggu udara menjadi panas (yang memakan masa yang lama), lampu ini langsung memanaskan permukaan bahan yang ingin dikeringkan. Kita menggunakan filamen berkepadatan tinggi, jadi proses pemanasan berlaku dengan sangat cepat.
Anda dapat mencapai suhu yang diperlukan dalam masa beberapa saat sahaja. Ini sangat penting kerana ia membantu menjaga suhu wafer pada tahap yang sesuai. Tiada risiko pelengkungan wafer atau penyebaran bahan kimia yang tidak diinginkan. Hanya haba yang bersih dan cepat.
Perhatian penting mengenai reka bentuk lampu tersebut
Terdapat trade-off yang perlu diperhatikan. Lampu yang bebas ozon ini menghasilkan haba yang sangat intensif. Jika lampu diletakkan terlalu dekat antara satu sama lain, ia boleh menyebabkan masalah. Jika lampu terlalu panas, ia akan rosak. Pastikan kipas penyejuk dan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika aliran udara tidak cukup, kulit luar lampu boleh retak, dan jangka hayat lampu akan berkurangan. Adalah penting untuk memeriksa spesifikasi lampu tersebut dengan teliti.
Cara menggunakannya
Sama ada anda menggunakan kaedah penyambungan menggunakan bahan bebas plumbum atau proses pengeringan bahan fotorezist, lampu ini boleh digunakan menggantikan pemanas lama. Ia membantu anda memenuhi piawaian hijau global dengan mengurangkan penggunaan tenaga elektrik dan mengelakkan pelepasan bahan berbahaya. Selain itu, lampu ini boleh disambungkan terus ke sistem kawalan PID yang sedia ada, agar suhu dapat dikawal dengan tepat. Sangat mudah.