Hentikan Proses Pemanasan Udara: Cara Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Jika anda pernah terlibat dalam proses pembuatan MEMS, anda pasti tahu betapa sukarunya untuk mengeringkan wafer tersebut. Ia memerlukan keseimbangan yang tepat – wafer perlu dikeringkan sepenuhnya tanpa ada sisa bahan yang tertinggal. Namun, kita tidak boleh menggunakan haba secara berlebihan, kerana ia akan merosakkan struktur wafer tersebut.
Kebanyakan orang hanya menggunakan ketuhar konvensional untuk mengeringkan wafer tersebut. Masalahnya ialah ketuhar tersebut akan memanaskan segala-galanya, termasuk udara, dinding, dan komponen lain… kecuali wafer itu sendiri. Ini merupakan pembaziran tenaga, dan juga menyusahkan mereka yang perlu melakukan penyelenggaraan. Sungguh menakutkan apabila menyentuh permukaan alat yang masih panas sehingga boleh melecur kulit.
Itulah sebabnya kami beralih kepada kaedah pemanasan yang lebih efektif, iaitu menggunakan lampu IR berfrekuensi pendek.
Bagaimana cara kerjanya?
Bayangkanlah seperti ini: kaedah konvensional ibarat menggunakan pemanas ruangan untuk memanaskan bilik. Sebaliknya, lampu IR pula berfungsi seperti lampu suluh, tetapi menghasilkan haba. Tenaga haba tersebut bergerak secara lurus dari filamen lampu ke wafer. Dengan cara ini, tenaga tidak disia-siakan untuk memanaskan udara di sekeliling wafer. Hasilnya, wafer akan mendapat haba yang diperlukannya, sementara permukaan luar alat tersebut tetap sejuk.
Memastikan spesifikasi yang tepat
Kami biasanya menggunakan tiub halogen kuarsa berintensiti tinggi. Kami memilih kuarsa kerana ia membolehkan radiasi berfrekuensi pendek melaluinya tanpa menyerap tenaga tersebut. Ini memungkinkan penggunaan tenaga yang maksimum untuk mengeringkan wafer dengan cepat.
Namun, ada satu perkara yang perlu diperhatikan: sudut pantulan cahaya. Sudut pantulan tersebut perlu ditetapkan dengan tepat. Jika ada sedikit kesilapan dalam penyetelan, haba tersebut akan jatuh pada dinding ruang tersebut, bukan pada wafer. Itulah sebabnya kita perlu memastikan penyetelan yang tepat.
Cabaran semasa pemasangan
Ia bukanlah sesuatu yang mudah. Lampu IR berkuasa tinggi memerlukan arus elektrik yang banyak. Jika sistem bekalan kuasa tidak mampu menanggung beban tersebut, ia akan menyebabkan masalah.
Selain itu, berhati-hatilah semasa mengendalikan lampu tersebut. Tiub kuarsa ini sangat rapuh. Sekiranya ada kesilapan semasa pemindahan lampu tersebut, ia akan rosak.
Untuk memudahkan proses ini, kami mencadangkan penggunaan soket standard. Ini memudahkan penggantian lampu tersebut. Pastikan juga masa pemanasan yang digunakan adalah yang sesuai. Jika anda menggunakan kuasa yang terlalu tinggi untuk mempercepatkan proses pengeringan, filamen lampu akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya. Semuanya bergantung pada mencari keseimbangan antara kelajuan dan ketahanan lampu tersebut.