Pada skala yang digunakan, perubahan suhu pada permukaan AFM akan menyebabkan gangguan dalam proses pengukuran. Perubahan suhu sebanyak setengah darjah saja sudah cukup untuk mengganggu kedudukan tepi permukaan yang diukur, serta merosakkan profil fotoresist. Ini seterusnya menyebabkan barang yang siap diproses perlu dikembalikan untuk diperbaiki. Kami mencipta pemanas AFM yang dapat mengekalkan suhu probe dan sampel pada tahap yang ditetapkan, tanpa memerlukan sistem untuk terus memantau perubahan suhu tersebut.
Apa yang penting dari segi fungsi dalaman
Kami memberi tumpuan kepada respons yang cepat dan stabil, serta konsistensi yang tinggi. Pemanas ini menggunakan gelombang inframerah panjang, digabungkan dengan tingkap kuarsa untuk memastikan penghantaran cahaya yang efektif. Ia mampu menghasilkan tenaga sebanyak 150 W dalam ruang yang kompak. Sistem ini beroperasi secara tertutup, dengan sensor yang telah dikalibrasi untuk memastikan suhu berada dalam lingkungan ±0.1°C. Badan pemanas ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, kerana ia menggunakan bahan-bahan yang tidak mengeluarkan gas berbahaya, dan permukaannya juga tidak akan menimbulkan zarah-zarah yang boleh mengganggu proses pengukuran. Konsistensi suhu tetap terjaga walaupun selepas proses pemanasan berulang kali, sehingga hasil pengukuran tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain.
Inilah sebabnya mengapa pemanas ini berfungsi dengan baik dalam proses litografi dan pengukuran fotoresist: pemanas ini membantu menstabilkan suhu wafer sebelum proses pengimbasan, sehingga tidak ada perubahan ketara pada lebar garis yang diukur. Dalam proses pembungkusan pula, pemanas ini membantu mendapatkan maklumat termal yang tepat tentang struktur bawah lapisan pelindung, tanpa menyebabkan kerosakan pada struktur yang tipis. Kelebihannya ialah kurangnya keperluan untuk melakukan ujian berulang, kurangnya bahan buangan, dan penggunaan tenaga yang lebih rendah. Proses pemasangan juga mudah, tetapi faktor keserasian antara pemanas dan platform AFM sangat penting. Permukaan tempat pemanas dipasang perlu rata dan bersih; walaupun celah udara yang kecil pun boleh mengganggu konsistensi suhu. Pemanas ini sesuai digunakan dengan kebanyakan platform AFM, namun untuk integrasi dengan kawalan lama, diperlukan kabel yang sesuai dan jadual kalibrasi yang tepat. Lakukan ujian pendek untuk memastikan suhu permukaan sesuai dengan sensor yang ada, kemudian tetapkan nilai suhu yang tepat.