Hentikan masalah “dinding panas” yang mengganggu kinerja peralatan manufaktur semikonduktor Anda.
Sebagian besar elemen pemanas standar memiliki cara kerja yang kacau. Elemen-elemen tersebut memancarkan panas ke segala arah—360 derajat. Di fasilitas manufaktur semikonduktor, hal ini merupakan mimpi buruk.
Ketika panas menyebar ke mana-mana, dinding-dinding peralatan mahal tersebut akan menyerap panas tersebut. Akibatnya, terjadi kondisi “dinding panas”. Hal ini berdampak negatif: energi terbuang sia-sia, dan peralatan menjadi berbahaya bagi siapa saja yang berada di dekatnya.
Inilah cara kami memperbaikinya.
Kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi pendek, tetapi dengan tambahan lapisan reflektif. Dengan demikian, panas tidak akan merambat ke dalam badan peralatan, melainkan dipantulkan ke arah yang diinginkan. Ini seperti menggunakan senter daripada bohlam biasa. Semua energi panas tersebut akan sampai tepat ke permukaan wafer atau substrat.
Dengan cara ini, peralatan tidak lagi berfungsi sebagai “espon penyerap panas”, sehingga proses manufaktur berjalan lebih efisien.
Detail teknisnya…
Untuk mendapatkan hasil yang maksimal, perlu memperhatikan daya yang digunakan serta bentuk reflektor. Kami menggunakan lampu berkepadatan tinggi, karena proses manufaktur membutuhkan peningkatan daya yang cepat. Untuk mencegah perubahan bentuk peralatan akibat tekanan panas, kami menggunakan selubung berbahan kuarsa.
Namun, perlu hati-hati dalam mengatur aliran panas. Jika terlalu banyak daya dialirkan ke ruang yang sempit, suhu akan melebihi batas yang ditentukan. Selain itu, kontroler PID perlu disetel sesuai dengan kecepatan pancaran panas inframerah. Jika tidak, suhu akan naik turun secara tidak stabil.
Membuat segalanya aman dan mudah…
Yang terbaik adalah bagian luarnya tetap dingin. Para operator dapat memasukkan bahan atau melakukan perawatan tanpa khawatir terbakar oleh dinding peralatan.
Jika Anda ingin mengganti peralatan lama dengan yang baru, lampu-lampu ini dirancang untuk menggantikan pemanas tradisional yang tidak memiliki arah pancaran panas yang jelas. Pastikan kabel penghubung mampu menangani arus listrik yang digunakan.
Satu tips lagi: periksa penyetelan reflektor setelah peralatan terpasang. Bahkan sedikit penyimpangan saja dapat menyebabkan ketidakmerataan panas pada permukaan wafer. Perubahan kecil pun dapat memberikan dampak yang signifikan.