In der Fertigungsstätte sind die Profile der Trocknungsprozesse kein matter Aspekt – sie bestimmen vielmehr, ob eine Charge erfolgreich hergestellt werden kann oder nicht. Eine Abweichung von 2°C während des Weich- oder Härttrocknungsprozesses kann dazu führen, dass die CD-Chips beschädigt werden, es zu Unreinheiten kommt und somit ganze Chargen vernichtet werden. Wir haben unsere Infrarotlampen für den Graphenverarbeitungsprozess so konstruiert, dass diese Unsicherheiten beseitigt werden.
Was technisch wirklich wichtig ist:
Diese Lampen strahlen näherungsweise-infrarotes Licht aus, das eine schnelle und kontrollierte Erwärmung ermöglicht. Dadurch wird eine Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche der Wafer erreicht – im Bereich von ±0,1°C. Der Graphenemitter hält seine Leistung über Tausende von Stunden bei – die Geräte können mehr als 5.000 Stunden lang betrieben werden, ohne dass die Leistung um mehr als 5% sinkt.
Die Lampen entsprechen den Anforderungen von Reinräumen der Klasse 1–100: Es entstehen keine Partikel, und die Temperatursteuerung ist präzise. Leistung, Spannung und Abmessungen lassen sich an die vorhandenen Anschlüsse anpassen – dadurch kann die Integration direkt erfolgen, ohne dass ein neues Design nötig wäre.
Warum das in der Lithografie funktioniert:
In der Lithografie benötigt man einen Weichtrocknungsprozess, der Lösungsmittel entfernt, ohne dass es zur Wiederflüssigung der Substanz kommt. Gleichzeitig muss ein Härttrocknungsprozess stattfinden, der die Substanz festigt, ohne dass es zu Schäden kommt. Unsere Lampen erreichen die gewünschte Temperatur schnell, halten sie konstant und kühlen gleichmäßig ab. Dadurch erhalten alle Wafer dieselben Bedingungen während des Trocknungsprozesses.
Das bedeutet bessere Präzision bei der Bearbeitung der Wafer, weniger Nacharbeiten sowie planbare Zykluszeiten. Der Energieverbrauch sinkt, da das System nur dann erhitzt wird, wenn es nötig ist – außerdem bleibt die Temperatur stabil. Die lange Lebensdauer der Emittoren reduziert außerdem den Bedarf an Ersatzteilen und Wartungsarbeiten.
Was Sie vorab wissen sollten:
Diese Lampen sind nach internationalen Standards für Halbleiterausrüstung entwickelt worden. Sie stellen eine bewährte Alternative zu herkömmlichen Halogen-/Quarzin-Infrarotquellen dar. Bei der Installation müssen die Geometrie des Reflektors sowie die optischen Bedingungen berücksichtigt werden. Wenn man die Lampen austauscht, ohne die Brennweite zu überprüfen, verschiebt sich die Heizzone. Planen Sie die Austauschaktion entsprechend der Geometrie des Behälters, des Kühlflusses sowie der Sicherheitssysteme – so bleibt die Anzahl der Partikel gering und die Betriebszeit hoch.