Beenden Sie das Problem der „heißen Wände“ in Ihren Fertigungsanlagen
Die meisten Standardheizelemente sind ziemlich unkontrollierbar – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab, also in 360 Grad. In einer Halbleiterfertigungsfabrik ist das ein Albtraum.
Wenn die Wärme überallhin strahlt, nehmen die Innenwände der teuren Maschinen diese Energie auf. Dadurch entstehen „heiße Wände“, was einen doppelten Nachteil hat: Energiemissbrauch und eine echte Sicherheitsgefahr für alle, die in der Nähe der Maschine arbeiten.
So lösen wir das Problem.
Wir verwenden Kurzwell-Infrarotlampen – allerdings mit einem Trick: Wir fügen reflektierende Elemente hinzu. Anstatt dass die Wärme in das Gehäuse der Maschine gelangt, wird sie zurückgeworfen. Es ist, als würde man statt einer gewöhnlichen Glühbirne eine Taschenlampe verwenden. Die gesamte Wärmeenergie geht genau dorthin, wohin sie gehört – direkt auf das Wafer oder Substrat.
Das Gehäuse der Maschine fungiert somit nicht mehr wie ein „Riesenschwamm“ für Wärme – plötzlich funktioniert alles effizienter.
Die technischen Details
Um das richtig umzusetzen, kommt es auf die Leistungsaufnahme sowie die Form des Reflektors an. Wir verwenden hochdichte Lampen, da die Fertigungsprozesse schnell ablaufen müssen. Um zu verhindern, dass die Lampen unter dem Druck beschädigt werden, verwenden wir Quarzkörper.
Aber man muss vorsichtig sein mit dem Wärmefluss. Wenn man zu viel Leistung in einen kleinen Raum leitet, wird die Temperatur schnell zu hoch. Zudem müssen die PID-Regler auf die Geschwindigkeit der Infrarotstrahlung abgestimmt werden. Andernfalls entstehen thermische Schwankungen – die Temperatur springt einfach immer wieder hoch und runter.
Sicherheit und Komfort
Der Vorteil: Die Außenhülle der Maschine bleibt kühl. Die Bediener können Materialien laden oder Wartungsarbeiten durchführen, ohne befürchten zu müssen, von den Wänden der Maschine verbrannt zu werden.
Falls Sie aufrüsten möchten, sind diese Lampen als Ersatz für die alten, ungerichteten Heizelemente konzipiert. Stellen Sie nur sicher, dass Ihre Verkabelung die erforderliche Strombelastung bewältigen kann.
Und noch ein Tipp: Überprüfen Sie nach dem Anschließen die Ausrichtung des Reflektors. Selbst eine kleine Neigung der Lampe kann dazu führen, dass die Wärmestrahlung ungleichmäßig verteilt wird – das wiederum führt zu ungleichmäßiger Verarbeitung des Werkstücks. Kleine Anpassungen ergeben große Unterschiede.