بمجرد أن يتجاوز الرقاقة عملية التصوير الضوئي، تنتقل إلى مرحلة لصق الشرائح على خط التعبئة. قبل هذه العملية، يجب إزالة كل أثر للرطوبة عن السطح. إذا تركت أي رطوبة، فإنك تخاطر بحدوث فراغات في المادة تحت الطبقة، أو انفصال عند واجهة الربط، أو تأثير موثوقية كامن قد لا يظهر في الفحص الدوري.
خطوة التجفيف ليست مجرد انتظار سلبي—إنها حركة حرارية نشطة تمهد الطريق لسلسلة الت encapsulation بأكملها.
ما يهم في العالم الحقيقي هو التحكم الذي يمكنك الاعتماد عليه، يومًا بعد يوم. وحدات التجفيف لدينا تحافظ على توازن حراري على مستوى الرقاقة ضمن ±0.1°C عبر الركيزة، وتعمل في غرف نظيفة من الفئة 1-100، ولا تضيف أي جزيئات أثناء الدورة.
نستخدم تسخين NIR لتوصيل الطاقة بسرعة وبدون تلامس، بحيث تصل السطح إلى الهدف دون رفع درجة حرارة الكتلة بشكل مفرط. هذه الدقة في درجة الحرارة تمتد مباشرة إلى خطوات خبز الفوتوريسست—الخبز الناعم والخبز الصلب—مما يمنحك تحكمًا مستقرًا في الأبعاد الحرجة وأقل عدد من العيوب. يتم تضمين إمكانية التكرار في الملف الحراري، وتستمر الأداة في تحريك الخط بدقة 24/7.
إليك الجزء البسيط: تحتاج إلى إدارة الميزانية الحرارية بشكل دقيق بحيث ترى عمليات لصق الشرائح والتغليف نفس ظروف السطح، دورة بعد دورة. تساهم التوحيد الدقيق في تقليل الفاقد، وتسريع التغيير، وتقليل الطاقة لكل دفعة.
يفتح نطاق العملية دون التضحية بالعائد، وتندمج الأداة بسلاسة في تدفقات التعبئة الحالية.
بعض الملاحظات العملية. إن تجفيف NIR حساس لعاكسية الركيزة وانبعاثها، لذا يجب ضبط الملف الحراري لكل مجموعة منتج.
تتعلق عملية التركيب بمطابقة تدفق الهواء الخارجي والهواء الإضافي مع تدفق الهواء للأداة، ومحاذاة الغرفة مع المعالج للحفاظ على أداء الجزيئات حيث يجب أن يكون. نحن نوفر بيانات التطبيق ومواصفات الواجهة لتقليل وقت التأهيل.